Product Name | (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate |
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CAS | 0-0-YH84013 |
ProductNum | YH84013 |
Formula | C25H25F5O3S2 |
MW | 532.12 |
Product Name | (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate |
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CAS | 0-0-YH84013 |
ProductNum | YH84013 |
Formula | C25H25F5O3S2 |
MW | 532.12 |
電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸鹽是一種特殊用途的光敏化合物,結(jié)合了锍陽離子的高光化學(xué)活性和五氟丙烷磺酸根的優(yōu)異化學(xué)穩(wěn)定性。其高純度和精細的分子設(shè)計,使其成為先進半導(dǎo)體制造中光刻膠和其他光敏材料的重要組成部分。
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[物理性質(zhì)]
中文名稱:(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽
英文名稱:(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate
分子式:C25H25F5O3S2。
分子量:532.12 g/mol。
純度:≥99.9%,電子級標準。
溶解性:
(1)溶于常見有機溶劑,如丙酮、乙腈等。
(2)對水不溶,具有疏水性。
熱穩(wěn)定性:耐受高達250°C的高溫,無分解現(xiàn)象。
光敏性能:在深紫外光(DUV)和極紫外光(EUV)波長下具有高光活性。
[應(yīng)用領(lǐng)域]
先進光刻膠技術(shù)
(1)作為光敏劑,提高DUV和EUV光刻膠的光解效率和顯影性能。
(2)增強光刻工藝中的分辨率和圖形精度。
半導(dǎo)體制造
(1)支持高精度微納米器件的圖形轉(zhuǎn)移。
(2)適用于化學(xué)放大型光刻膠,在高復(fù)雜性芯片制造中發(fā)揮作用。
新材料研發(fā)
(1)用于開發(fā)高性能光敏薄膜材料。
(2)適用于光電材料及高端顯示設(shè)備的精密制造。
優(yōu)勢
該產(chǎn)品結(jié)合了高純度、熱穩(wěn)定性和優(yōu)異的光敏性能,可顯著提升光刻膠的性能表現(xiàn),是滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度制造需求的理想選擇。