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(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate

ProductNum CAS No. MDL No. PubChem ID Formula MW Purity Appearance
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Product Name (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate
CAS0-0-YH84013
ProductNumYH84013
FormulaC25H25F5O3S2
MW532.12

電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸鹽是一種特殊用途的光敏化合物,結(jié)合了锍陽離子的高光化學(xué)活性和五氟丙烷磺酸根的優(yōu)異化學(xué)穩(wěn)定性。其高純度和精細的分子設(shè)計,使其成為先進半導(dǎo)體制造中光刻膠和其他光敏材料的重要組成部分。

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[物理性質(zhì)]

中文名稱:(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽

英文名稱:(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate

分子式:C25H25F5O3S2

分子量:532.12 g/mol。

純度:≥99.9%,電子級標準。

溶解性:
1)溶于常見有機溶劑,如丙酮、乙腈等。
2)對水不溶,具有疏水性。

熱穩(wěn)定性:耐受高達250°C的高溫,無分解現(xiàn)象。

光敏性能:在深紫外光(DUV)和極紫外光(EUV)波長下具有高光活性。

[應(yīng)用領(lǐng)域]

先進光刻膠技術(shù)
1)作為光敏劑,提高DUVEUV光刻膠的光解效率和顯影性能。
2)增強光刻工藝中的分辨率和圖形精度。

半導(dǎo)體制造
1)支持高精度微納米器件的圖形轉(zhuǎn)移。
2)適用于化學(xué)放大型光刻膠,在高復(fù)雜性芯片制造中發(fā)揮作用。

新材料研發(fā)
1)用于開發(fā)高性能光敏薄膜材料。
2)適用于光電材料及高端顯示設(shè)備的精密制造。

優(yōu)勢

該產(chǎn)品結(jié)合了高純度、熱穩(wěn)定性和優(yōu)異的光敏性能,可顯著提升光刻膠的性能表現(xiàn),是滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度制造需求的理想選擇。


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86-571-82693216
CS