電子級二甲基(3-(9-氧-9H-噻蒽-2-基)苯基)硫鎓三氟甲磺酸鹽是一種高效光敏材料，具有優(yōu)異的光化學(xué)性質(zhì)和化學(xué)穩(wěn)定性。該化合物廣泛應(yīng)用于高分辨率光刻膠以及其他電子化學(xué)品的制備，在先進半導(dǎo)體和微電子器件制造領(lǐng)域具有重要作用。

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【物理性質(zhì)】

基本性質(zhì)

化學(xué)名稱：二甲基(3-(9-氧-9H-噻蒽-2-基)苯基)硫鎓三氟甲磺酸鹽

分子式：C₂₂H₁₇F₃O₄S₃

分子量：498.02 g/mol

外觀與溶解性

外觀：黃色至淺橙色結(jié)晶粉末

溶解性：易溶于乙腈、二氯甲烷、甲醇等極性有機溶劑

熱穩(wěn)定性與儲存條件

熔點：約120-130℃

儲存條件：避光儲存于0-10℃的干燥環(huán)境，防止受潮和氧化

【應(yīng)用領(lǐng)域】

光刻膠配方

作為光敏劑和光產(chǎn)酸劑，在高分辨率光刻膠中發(fā)揮關(guān)鍵作用。

（1）增強光刻膠對紫外光和深紫外光的感光性能。

（2）提高微細圖案的清晰度和邊緣對比度。

半導(dǎo)體制造

在先進半導(dǎo)體和微電子器件的光刻工藝中表現(xiàn)出色。

（1）支持亞微米及納米級別的高精度圖案轉(zhuǎn)移。

（2）滿足尖端芯片制造對化學(xué)材料的嚴苛要求。

其他電子應(yīng)用

用于光電材料和功能涂層的制備。

（1）改善光電設(shè)備的光學(xué)性能和穩(wěn)定性。

（2）用于顯示技術(shù)和傳感器的關(guān)鍵材料層。