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電子級(jí) (4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 2,4,6-三(1-甲基乙基)苯磺酸鹽 (1:1)

(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,4,6-tris(1-methylethyl)benzenesulfonate(1:1)

產(chǎn)品編號(hào) CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 純度 外觀
  • 基礎(chǔ)信息
  • 產(chǎn)品詳情
  • 相關(guān)文獻(xiàn)
英文名稱 (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,4,6-tris(1-methylethyl)benzenesulfonate(1:1)
中文名稱電子級(jí) (4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 2,4,6-三(1-甲基乙基)苯磺酸鹽 (1:1)
CAS號(hào)0-0-YH84015
產(chǎn)品編號(hào)YH84015
分子式C37H46O3S2
分子量602.29

電子級(jí)(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 2,4,6-(1-甲基乙基)苯磺酸鹽是一種高純度锍鹽化合物,結(jié)合了三芳基锍陽離子的優(yōu)異光敏性和特殊苯磺酸鹽的強(qiáng)酸穩(wěn)定性。該產(chǎn)品具有出色的光敏性能和化學(xué)穩(wěn)定性,廣泛用于高端半導(dǎo)體和微電子制造中的光刻膠及相關(guān)領(lǐng)域。

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[基本信息]

中文名稱:(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 2,4,6-(1-甲基乙基)苯磺酸鹽 (1:1)

英文名稱:(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,4,6-tris(1-methylethyl)benzenesulfonate(1:1)

分子式:C37H46O3S2

分子量:602.29 g/mol

外觀:淺黃色至白色粉末或晶體。

純度:≥99.9%,符合電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

溶解性:
1)溶于極性有機(jī)溶劑,如乙腈、二氯甲烷。
2)對(duì)水不溶,表現(xiàn)出較高的疏水性。

熱穩(wěn)定性:在高溫條件下(最高250-300°C)仍能保持化學(xué)穩(wěn)定性。

光敏特性:在紫外光激發(fā)下表現(xiàn)出優(yōu)異的反應(yīng)性能。

[應(yīng)用領(lǐng)域]

光刻膠配方
1)用于深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻技術(shù),提高分辨率和顯影對(duì)比度。
2)提升光刻膠的曝光靈敏度,滿足納米級(jí)微圖形制造需求。

微電子與半導(dǎo)體制造
1)應(yīng)用于干法蝕刻技術(shù),支持高精度微納加工。
2)作為化學(xué)放大光刻膠的重要光敏劑,提高光刻工藝效率。

高性能材料研發(fā)
1)用于制備具有耐高溫和抗化學(xué)腐蝕的功能薄膜。
2)支持高端顯示設(shè)備、新能源器件及微電子封裝的精密制造。

優(yōu)勢(shì)
本產(chǎn)品憑借其優(yōu)異的光敏性能、高純度及熱化學(xué)穩(wěn)定性,為半導(dǎo)體制造工藝提供關(guān)鍵支持,適用于苛刻環(huán)境下的高精度制造需求。


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