電子級雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽是一種專為半導(dǎo)體制造和光刻工藝設(shè)計的高純度化學(xué)品。它作為一種光酸生成劑（PAG），在光刻膠中具有重要的應(yīng)用，能夠在紫外光照射下生成強酸，有效促進(jìn)圖案轉(zhuǎn)移和細(xì)節(jié)精度提升。其分子結(jié)構(gòu)中的碘鹽和五氟乙烷磺酸基團使得該化合物在高精度微電子器件制造中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，特別是在先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片制造和微米級結(jié)構(gòu)的精細(xì)加工中。

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【基本信息】

中文名稱：雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽

英文名稱: bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium ,pentafluoroethanesulfonate

分子式：C₂₂H₂₆F₅IO₃S

分子量：592.06

外觀：黃色至橙色固體

溶解性：易溶于有機溶劑如二甲基亞硫酰胺（DMSO）、N-甲基吡咯烷酮（NMP）等，溶解度較低于水

熔點：約135-145℃

分解溫度：＞230℃

儲存條件：應(yīng)存放在干燥、陰涼、避光環(huán)境中，推薦儲存溫度不超過25℃，避免高溫或潮濕環(huán)境。

【應(yīng)用領(lǐng)域】

光刻膠材料

雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽廣泛應(yīng)用于光刻膠配方中，作為一種光酸生成劑，能夠在紫外光照射下釋放強酸，促進(jìn)圖案轉(zhuǎn)移過程，提升光刻膠的分辨率。

（1）適用于KrF、ArF及EUV光刻工藝，滿足高端半導(dǎo)體制造中的需求。

（2）增強光刻膠的反應(yīng)性，提供優(yōu)異的分辨率和邊緣銳度，確保微小結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)印。

半導(dǎo)體制造

該化合物在半導(dǎo)體光刻工藝中作為增感劑，有助于提高光刻膠的曝光靈敏度和圖案清晰度。

（1）在微米級及亞微米級的半導(dǎo)體工藝中，確保圖案的高精度轉(zhuǎn)移。

（2）通過優(yōu)化光刻過程中的酸生成效率，提升生產(chǎn)過程中的良品率。

電子材料與功能涂層

雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽可用于電子封裝材料和功能涂層中，作為催化劑和表面改性劑，改善材料的耐熱性和電氣性能。

（1）在電子封裝中提高材料的熱穩(wěn)定性和抗氧化性，延長器件使用壽命。

（2）作為涂層添加劑，提升光學(xué)穩(wěn)定性、抗腐蝕性和電氣特性。