英文名稱 | Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium perfluoro-1-butanesulfonate |
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中文名稱 | 電子級 雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸 |
CAS號 | 194999-85-4 |
產品編號 | YH68175 |
分子式 | C24H26F9IO3S |
分子量 | 692.414 |
Solubility | PGMEA: ~40% |
英文名稱 | Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium perfluoro-1-butanesulfonate |
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中文名稱 | 電子級 雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸 |
CAS號 | 194999-85-4 |
產品編號 | YH68175 |
分子式 | C24H26F9IO3S |
分子量 | 692.414 |
Solubility | PGMEA: ~40% |
電子級雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸是一種高純度光敏化合物,廣泛應用于先進微電子和光刻材料中。其結構中含有穩(wěn)定的碘鎓陽離子和全氟丁基磺酸陰離子,賦予了其優(yōu)異的光敏性和化學穩(wěn)定性。該產品主要用于深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻膠,助力高精度光刻圖形的生成,適用于半導體和微納電子制造的先進工藝。
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【物理性質】
基本性質
(1)化學名稱:雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸。
(2)分子式:C24H26F9IO3S
(3)分子量:692.414 g/mol
外觀與溶解性
(1)外觀:白色至淡黃色粉末或結晶體。
(2)溶解性:可溶于常見有機溶劑,如甲醇、乙腈和丙酮,微溶于水。
熱穩(wěn)定性與純度
(1)熱穩(wěn)定性:在200℃以下保持化學穩(wěn)定性。
(2)純度:≥99.9%,符合電子級材料的質量要求。
【應用領域】
光刻膠材料
(1)作為深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻膠中的光酸生成劑,提高光刻分辨率和加工精度。
(2)用于高端芯片制造中,支持先進工藝節(jié)點的生產。
微電子制造
(1)在晶圓加工環(huán)節(jié)提供高效的光敏功能,幫助實現高分辨率的圖形轉移。
(2)適用于多層膜結構和微納器件的制作。
顯示與光電應用
(1)支持高分辨率顯示器單元的光刻工藝,提升顯示性能。
(2)應用于光電子器件制造,提高器件性能和可靠性。