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電子級(jí) 三苯基溴化锍

Triphenylsulfonium Bromide

產(chǎn)品編號(hào) CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 純度 外觀
  • 基礎(chǔ)信息
  • 產(chǎn)品詳情
  • 相關(guān)文獻(xiàn)
英文名稱(chēng) Triphenylsulfonium Bromide
中文名稱(chēng)電子級(jí) 三苯基溴化锍
CAS號(hào)3353-89-7
產(chǎn)品編號(hào)YH84022
分子式C18H15BrS
分子量342.01

電子級(jí)三苯基硫鎓溴鹽(Triphenylsulfonium Bromide)是一種常用于半導(dǎo)體制造和光刻膠中的光引發(fā)劑。它具有極佳的光化學(xué)活性,能夠在紫外線照射下引發(fā)化學(xué)反應(yīng),生成高分辨率的圖案。由于其高純度和穩(wěn)定性,三苯基硫鎓溴鹽在集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)以及顯示器制造等高精度領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,為光刻工藝中的精密制造提供了關(guān)鍵材料。

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[基本信息]

(1) 分子式:C18H15SBr

(2) 分子量:342.01 g/mol

(3) 溶解性:溶于乙醇、丙酮等有機(jī)溶劑。

(4) 微溶于水。

(5) 穩(wěn)定性:在常溫常壓下具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性。

(6) 儲(chǔ)存:避光存儲(chǔ),防止光解。

(7) 熔點(diǎn):約160-170°C

[應(yīng)用領(lǐng)域]

半導(dǎo)體光刻工藝:

(1) 該產(chǎn)品廣泛用于紫外(UV)光刻膠的制備,是一種高效的光引發(fā)劑。

(2) 在光刻工藝中,三苯基硫鎓溴鹽通過(guò)吸收紫外光能量引發(fā)化學(xué)反應(yīng),生成高精度圖案,特別適用于先進(jìn)的芯片和集成電路制造。

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造:

(1) 其高純度和優(yōu)異的光引發(fā)性能使其在MEMS生產(chǎn)中能幫助實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的加工精度。

(2) 有助于提高微電子器件的性能和耐用性。

顯示器制造:

(1) OLEDLCD等高分辨率顯示器的生產(chǎn)中,該材料用于光刻膠的配方中,以提升光刻圖案的精細(xì)程度。

(2) 它可以改善顯示器的分辨率和清晰度,提高顯示質(zhì)量。

三苯基硫鎓溴鹽作為一種高效的光引發(fā)劑,憑借其優(yōu)異的物理性能和高純度,為半導(dǎo)體、MEMS及顯示器制造等高端領(lǐng)域提供了可靠的支持。


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